MKY-SBC-12 小型離子濺射儀
產品特點
特殊密封結構,玻璃不易損壞
操作方便,無需培訓即可使用
維護成本低,無需上門安裝
應用領域
本儀器主要適用于掃描電鏡鍍覆導電膜,儀器操作簡單方便,是樣品制備的儀器。適用的靶材:金、鉑、鉻、銀、鈦、銅、鎳、金鈀合金等。
技術指標
真空系統:兩級直聯旋片真空泵
真空檢測:皮氏計
真空保護:配有微量充氣閥,用于調節離子流的大小
工作氣體:空氣或氬氣
尺寸
工作腔室:內徑Ф100 x 130毫米
載物臺:小載物臺直徑Ф40毫米, 可同時放六個樣品杯;大載物臺直徑Ф60毫米
金靶尺寸:Ф58毫米
MKY-SBC-12 小型離子濺射儀